1、 电弧靶:包括常规电弧、磁过滤弧、平面电弧、柱弧等
2、 磁控靶:包括平面磁控、柱形磁控、小圆形磁控靶、可旋转磁芯靶、特制金靶等
3、 离子源:包括条形离子源、考夫曼离子源、灯丝离子源、空阴极离子源、霍尔离子源等