齐齐哈尔西门子代理商

追求质量
大量的功能集中在一个设备里，还符合。一个全球化的公司决定使用LOGO！并不奇怪，特别是它能减少控制板和电线的成本。

总部位于意大利Modena 的CFM 公司，多年来一直是欧洲提取系统和尘土传送系统的领导生产商。它给30 多个国家的化工、药物、塑料和食品行业的用户提供服务。公司的气体输送控制机已经通过CSQ 的UNI EN ISO 9002 认证。现在决定在机器中使用LOGO！，因为它符合。

气体传送器用来给进料器和混合器的喷射成型机提供粉末和颗粒。传送的漏斗就位于原料的上方。由于气体传送器里面的空气压力小，原料从袋子或容器里直接通过管子吸入漏斗。如果抽气装置被关闭，出口阀门打开，原料进入机器进行的处理。过滤器的自我清理系统自动开始工作，确保传送阀门完全被清空。整个过程由LOGO！来控制。

数量多并且多样化LOGO！控制传送漏斗的装载时间，并通过传感器控制小填充平面，在这一位置抽气装置将被关闭。LOGO！通过气缸打开释放阀门。LOGO！控制的过程也包括用压缩气体或气缸气流清理过滤器。由于参数显示在LOGO！的显示屏上，所有周期可以随时直接改变，这使用户能处理不同重量的颗粒。

决定性的优点是什么？对公司的电气工程师Diamanti 先生来说，毫无疑问是：“使用LOGO！，我们能明显的减少控制板的体积并简化电路，这是因为我们把所有的功能集中到了一个模块，而在以前需要多个模块来实现。由于LOGO！符合重要的并且在每个国家都可以获得，出口大量增加建设三峡工程双线五级连续梯级船闸有一系列的重大技术难题，诸如泥沙淤积碍航问题、高水头船闸水力学、高陡边坡稳定问题、超大型人字闸门和高水头输水阀门及其启闭机械的制造及安装问题、极为复杂的运行工艺与极高的安全可靠性运行要求等等，尤其是人字门的安全可靠控制系统及无扰动故障切换问题。
基于上述众多难题和高控制要求，三峡双线五级连续船闸，在每线船闸两侧各布置1 条输水廊道，各闸首阀门竖井内设置反向弧形工作阀门；在每线船闸的每个闸首两侧各设1 个液压启闭机房，每个液压启闭机房设1 个液压站，用于相应的人字形闸门和输水廊道工作阀门的启闭操作。每线船闸各6 个闸首,每个闸首两侧各设一个套现地电气控制站（简称现地站）, 共12 套现地站。两线共设24 套现地站，主要功能是控制操作本闸首的液压泵站、人字形闸门、输水工作阀门、防撞装置和通航信号指挥等设备。
船闸控制系统是一个非常复杂的控制系统, 在系统的安全性, 稳定性和可靠性方面有特别高的要求,任何故障都会导致整个航运系统的中断。尤其是现地控制站, 因为现地控制系统在船闸系统中的重要地位主要体现在：
1、在通讯网络中断的情况下，船闸的运行必须靠现地来操作完成；
2、在现地与集控的控制权上，现地具有控制优先权，这就保证了在紧急情况下现地处理故障的强制性；
3、从现地系统自身而言，其工作性能的好坏，将直接影响到船闸整个控制系统能否安全、可靠运行，在整个船闸控制系统中它的地位意义是决定性的。通过永船无水和有水调试运行，PLC 的实用性在三峡永船中也得到了很好的验证。

针对这些特点,西门子全集成自动化解决方案极好地满足了此控制系统的要求, 西门子PLC 作为三峡船闸现地系统的控制核心，它的大的特点是：结构简单，编程方便，控制器冗余,网络冗余,I/O 冗余,可靠性高等。具体体现在如下几个方面：
1、 现地控制系统采用西门子公司冗余控制器S7-417H 26 个，两个互为热备的13 对417 CPU 可分别安装在闸首两岸现地控制室及主控中心，现地控制站两制器之间通过150m 长的光纤电缆连接，既实现了两个CPU 之间的数据和信息的快速同步，光缆能提供很高的抗干扰能力. 一旦主站CPU 发生故障，系统将自动在0.1 秒内无扰动地切换到从站CPU，由从CPU 继续负责整个系统的控制，以确保系统在出现任何故障的情况下都不影响船闸的启闭过程和正常通航。系统网络结构图如下图所示：
2、现地控制站之间以及现地控制站与主控中心之间的通讯采用西门子100M 光纤双环网来实现网络的全冗余功能.通过在现地控制站S7-417H 的中央机架上分别安装两块工业以太网卡CP443-1 和在主控中心的监控服务器上也分别安装两块工业
以太网卡CP1613，实现了整个控制系统的高可靠性的冗余光纤双环网。以确保现地控制站之间及现地控制站与主控中心之间的通讯畅通,实现各站之间的连锁互动,协调管理不住和船闸的安全通航。

3、现场控制器与现场I/O 之间以现场总线-Profibus 来实现冗余的通讯连接, 现场控制器与现场I/O 站ET200M 之间通过ET200M 机架上的双IM153 模块实现双通道切换，除网络冗余外,现场I/O 点的采集和控制也是冗余的,一旦某个I/O 点出现故障，系统CPU 也会自动切换到热备的I/O 点上读写数据，以保证相关I/O 点和网卡及整个网络的全冗余自动切换，进而保证对闸门的安全、稳定控制。
4、高精度、高速定位功能是确保船闸安全运行,准确定位的关键,西门子公司的特殊功能模块SM338 在此项目中的完美应用体现了西门子自动化产品的博大精深。SM338 模块在此项目中用于快速定位，以确保闸门能安全到位，既不会因运行距离过长而出现两扇门相顶撞事故，也不会因不到位而使闸门关闭不严的事故。
5、WinCC 以其良好的稳定性,有好的用户界面,开放的数据库和网络协议成为船闸控制系统的上位监控软件,实现了对船闸真正的远程快速监控。

三峡大坝蓄水发电后，显著改善了宜昌至重庆660 公里的长江航运航道，航道,单向年通船能力由原来的约1000 万吨提高到5000 万吨，运输成本也降低了35-37%。船闸连通万里长江、打通华夏大陆水上出海通道，使长江客货运能力提高了5 倍，万吨级船队可由上海经船闸直抵重庆，客轮的运输能力相当于20 条北京至广州的铁路干线。船闸也将成为世界上经典的水上通航建筑物。
从三峡工程建设一开始， 西门子公司就致力为世界上这一巨大的水利水电项目作贡献。至今，西门子公司已参与三峡工程中一些重要的子项目：如左岸发电站6 台发电机和水轮机组励磁调速装置和50 万伏主变压器，其中自动化与驱动部与国内系统集成商和设备制造商合作，参与了临时船闸，“船闸、大坝和电站厂房二期工程”中的液压启闭机现地控制站和部分门桥机以及左岸电站厂房、泄洪坝段和船闸低压配电系统等项目在三峡双线船闸的建设过程中，西门子公司提供了先进、安全、可靠的技术和设备，特别是船闸系统自2003 年6 月运行以来，一直运行正常，从未发生过任何系统控制上的问题，保证了每天来往船只的正常通过，充分体现了西门子控制系统的高质量、高可靠性和高稳定性，为西门子可编程控制器今后在相关水利工程的应用中奠定了坚实的基础。西门子公司将继续为这一世界瞩目的工程提供全面的技术支持，使工程在安全可靠无故障运行的基础上早日达到预期的社会经济效益

由于我们所设计的加热器是内置投放式，故对所选加热器的要求比较高，不仅能耐酸，还要求能耐高温。我们所选加热器所有的加热丝及其导线都是用PFA包裹起来的，外包的PFA材质十分洁净，不会对酸液有所污染。加热器的加热功率根据槽体的容积选取。

由于加热器是置于槽体底部，液位保护装置优为重要。液位保护装置主要用于检测石英槽内是否有酸液，防止加热器在没有酸液的情况下工作而发生危险。温度检测装置主要用于检测石英槽内酸液的温度，将检测的温度信号反馈给温度器，由温控器实现温度控制。对于废酸的排放，基本有两种不同方式。可由底部气动阀门控制，或者由射流器稀释排放。

二、QDR设计  

QDR（QuickDumpRinser），即快排快冲槽，主要用于去除晶圆表面微粒杂质和残留化学药液，使晶圆表面洁净。QDR是晶圆湿法清洗中重要的一个清洗工艺模块，是清洗工艺中不可缺少的一道工艺，直接影响到晶圆的终清洗效果。

QDR由内外槽、上喷淋管路、下喷淋管路、快速排放阀及控制部分组成。

上喷淋管路共有两路，形成相互交叉喷淋，但去离子水不宜直接喷淋冲洗晶圆表面，因晶圆在水蚀作用下直接喷淋晶圆表面，易产生微粒污泥而污染晶圆表面，在去离子水的喷淋过程中，需要对冲洗水压、水量、方向和角度作出调整测试，以达到微粒污染少的佳效果。良好的喷嘴所喷淋范围涵盖全部晶圆及片盒；而不良的喷淋冲洗形状，没有涵盖全部晶圆及片盒，未被喷淋冲洗的死角地带，微粒、杂质及化学药液残留含量仍然很高，而达不到良好的清洗效果。

上喷淋下喷淋管路由底部两侧不断进水，而后由内槽上沿四周溢出，这样，每个晶圆片缝、各处边角的去离子水都能连续得到更新。纯净氮气由下喷淋管路进入槽体。氮气鼓泡有以下几个作用：（1）增加了去离子水的冲刷力，对槽体本身有很好的自清洗作用；（2）晶圆在水流中颤动，气泡不能沾附其上，提高了冲洗效果；（3）减少去离子水中的含氧量，避免在晶圆表面生成氧化物。

QDR喷淋注满水时间和排水时间，对晶圆清洗质量有很大影响。因晶圆表面暴露在空气中会接触空气中的氧分子或水汽，在常温下，即会生长一层很薄的氧化层（约为0．5～1nm），这层自然氧化物的厚度与暴露在空气中的时间长短有关，喷淋注满水时间越长，晶圆暴露在空气中的时间就会越长，形成的氧化层也越厚，这对晶圆清洗，是很不利的。QDR排水的时间越短，排水流速就会越大，有利于去离子水带走晶圆表面上的微粒杂质。在QDR设计中，要尽可能的缩短喷淋注满水时间和排水时间，实现快冲快排，整体效率也会得到提高。

三、传动系统设计

传动系统是全自动清洗机区别手动清洗机核心的部分，由该系统在电气系统控制下实现了晶圆工艺清洗的自动化。传动系统的性能直接决定了全自动清洗机整体工作效率及工作的稳定性、可靠性等方面。

传动系统由x向和y向组成，通过PLC程序控制，方便灵活地实现了x向和y向的运动。

x向是由伺服电机、减速器、LM直线导轨、齿轮齿条及连接块等部分组成的。它由伺服电机驱动，通过减速器，齿轮齿条、连接块传动来实现机械臂连同机械手整体x向的运动；该方向运动用于将片盒准确地移至各个清洗工位定位处。在x向装有一个原点近接开关，以检测确定机械臂在x向的起始位置点，左右两侧分别装有限位近接开关，以防止机械臂与本体相碰，发生危险。

y向由机械手、机械臂、伺服驱动系统及连接块等部分组成。机械手是用于片盒的提取，它通过x、y两个方向的联合运动来实现的。机械臂是用于实现机械手的上下运动，它由伺服电机、圆轴丝杠、导向装置、高刚性框架集成一体而成。伺服驱动系统与PLC一起控制y向的运动。在y向装有一个原点近接开关，以检测确定机械臂在y向的起始位置点，在其上下两侧分别装有限位近接开关，以防止机械臂与本体相碰，发生危险。

传动系统各方面性能对保证整台设备的稳定性和可靠性至关重要。主要由以下几个（1）运动的稳定性；（2）运动的**性；（3）传动结构的刚性；（4）运动速度及运动的平稳性。

四、电气控制系统设计  

电气控制系统是整个设备的重要部分，统筹安排传动系统在各个清洗槽的运动时序，控制阀门以及清洗工艺模块的工作状态。它直接关系到设备的正常使用、维护及其生产效率。整套控制系统以一台PLC（可编程序控制器）C2OOHG为核心，触摸屏作为人机界面，交流伺服系统作为晶圆移位的执行机构