7134_ADT切割机/Dicing（多角度）

7134多角度切割机拥有 4" 高功率空气轴承主轴，30krpm时高2.5KW。直流无刷电机，闭环速度控制。覆盖高 12" 的圆形产品、12" x 9" 方形基板带框架或 12" x 12" 卡盘（不带框架）。

系统配有闭环转向台，针对多角度切割进行优化，适用各种产品，例如：

·陶瓷基板

·氧化铝

·混合物

·厚膜设备等

ADT切割机/Dicing 7134系统规格：

大面积系统配置：高300mm x 300mm

刀片尺寸：4"-5"

主轴：空气轴承，直流无刷，30 krpm/2.5 kW

分度轴（y）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

控制：线性编码器

分辨率：0.2 μm

累积精度：1.5 μm

分度精度：1.0 μm

传送轴（X）

气动滑块

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配直流无刷电机

传送速度：高达 600 mm/sec

切割深度轴（z）

驱动装置：滚珠轴承丝杆，配步进电机

分辨率：0.2 μm

精度：2.0 μm

重复精度：1.0 μm

行程：50 mm

旋转编码器

Z线性编码器 - 可选件

Z间隙高达3" - 可选

旋转轴

驱动：闭环、直接驱动、直流无刷

精度：4 arc-sec

重复精度：4 arc-sec

行程：350度

ADT多角度切割机/Dicing 7134相关产品：

衡鹏供应

ADT 8020系列双轴晶圆切割机

ADT 7220系列单轴晶圆划片机

ADT 8230全自动双轴12寸切割机