电子生产、真空镀膜用无油真空泵 螺杆真空泵

干式螺杆真空泵工作原理主要是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的 左螺杆与右螺杆作高速转动，利用泵壳和相互啮合的螺旋桨螺旋槽分割成多个空间、形成 多个级，气体在相等的各个槽内进行传输运动，

无压缩，只有螺杆末端的螺旋结构才对 气体有压缩的作用。螺杆的各级间可形成压力梯度，以分散压差和提高压缩比，各部间隙 和泵转速对泵的性能有很大影响。

在设计螺杆各部的间隙时，要考虑膨胀、加工及装配精 度和工作环境等。干式螺杆真空泵与罗茨真空泵一样不设排气阀。

气镇阀装置的安装: 防止强腐蚀性气体的凝结 降低易爆气体的分压力 · 齿轮油冷却水套: 保持较低的油温。 防止因齿轮油高温高压产生漏油现象。 防止因高温带来的齿轮油性能降低。 

可靠的密封结构 : 唇形密封和机械密封加上气体密封，形成三重密封结构。安装专为干式真空泵设计的高性能机械密封。

 优异的适当加压的气体密封装置，进 一步提高了齿轮油和被抽流程气体之间的密封性。

产品特点   

· 极限真空 : 理想的间隙设计和连续的压缩方式，

单泵就可达到 0.0075torr（0.01 hpa）的极限真空。

· 耐腐蚀 : 使用有超强耐腐蚀的性涂层材料。

通过气镇阀装置降低腐蚀性气体的分压力，

可防止腐蚀性气体凝结在泵腔内，进一步提高耐腐蚀能力。

· 冷却效果 : 采用符合流体动力学的螺旋形冷却水套，热交换效率。

泵内部维持合理的较低的温度，所以涂层损伤很低。

· 节能: 螺杆的节能型设计，可降低30%的电力消耗。

无需把冷却气体供应到泵的内部。