硅片晶圆激光切割、晶圆激光划片、晶圆激光刻槽、硅片激光划线、硅片激光打孔、异形孔加工、硅片晶圆激光裁切、改小、掏圆加工。
传统式硅片切割方式就是机械切割,速度比较慢、横断面整齐能力差、残片多、不环保。硅是一种非金属材料,机械切割非常容易使边沿造成裂开,导致硅表层弹性应变区、织构互联网区与碎晶区域构成层损害,乃至可能导致隐型裂痕,危害电荷主要参数等伤害。激光切割技术具备零接触、无机械应力、割缝总宽小、横断面整齐光洁、**度高、速度更快、质量稳定等优点;不容易损害单晶硅片构造,电荷主要参数要好于传统机械切割方法,可用于大规模电池片开展画线激光切割,保证精准操纵激光切割精密度及薄厚,进一步降低激光切割碎渣,提升充电电池使用率。
用激光来划片切割硅片是目前*为先进的,它使用精度高、而且重复精度也高、工作稳定、速度快。
激光*大输出≧50W(可调)、激光波长为1.064µm、切割厚度≦1.2mm、光源是用Nd:YAG晶体组成激光器、是单氪灯连续泵浦、声光调Q、并用计算机控制二维工作台可预先设定的图形轨迹作各种**运动。