利用扩散法氦气如何纯化氦气所具有的高热扩散性能，可以浓缩提取天然气中的氦气。使用的扩散元件通常为石英玻璃毛细管，管壁厚为0.025～0.127mm，内径与壁厚之比为3～7，操作温度为400～500。操作压力可根据具体操作条件在数十兆帕斯卡至数百兆帕斯卡的范围内选择。石英玻璃毛细管扩散提取的氦气纯度相当高，但所采用的石英玻璃毛细管极细，制作不便，操作时需在与高温相当高的差压下进行，因此扩散法对氦的规模化有很多限制。

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