MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS

537149

规格

12

短型号代码

MS12

系列

MS

控制锁

可锁定旋转手柄
可以用附件关闭

安装位置

垂直 +/-5°

过滤等级

40 µm

冷凝水排放装置

全自动
手控装置，非锁定式

设计

带压力表的过滤减压阀
烧结式过滤器，带冷凝液分离器
带冷凝水排放装置
带二次排气功能
模块化
先导膜片式减压阀

蕞大冷凝容积

400 ml