NKS压力表半导体用GW28系列 GW28-1E3-1000 

半导体行业压力表

用于半导体集成工艺

即使在高纯度半导体气体和腐蚀性气体气氛等条件下也表现出优异的性能。

该压力表在制造时充分考虑了气密性和清洁度，适用于半导体工艺，尤其是高纯度流体。

长处

・由于是φ28尺寸的小直径型，因此有助于节省集成安装座的空间。

・与传统的C型波登管相比，气体接触部分是简单的隔膜式，因此具有易于清洁和气体冲洗的结构

。

・与传统产品（小型波登管型）相比，气体接触部分的内部容积约为1/2，气体积聚的死区（气体接触部分

的内部容积）大大减少。

*选择压力表时，请选择压力范围，使正常压力的上限在以下范围内，以便充分证明

性能。

在恒定压力下：最大压力范围的3/4或更小 在压力

波动的情况下：最大压力范围的2/3或更小

另外，请确保所述气体接触部分的材料与被测流体相容。

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