该仪器是专为半导体制造中必不可少的各种气体而开发的小型轻量级压力开关,结构简单,可直接连接到设备上使用。
在制造过程中,适当考虑清洁度和气密性,并在严格的质量控制和性能测试后进行供应,使其适用于半导体工艺气体。
认证标准:
长处・由于外形小,重量轻,在安装空间有限的地方很方便。
・压力可轻松设定。
・由于该结构不会对微动开关施加额外的负载,因此可以进行稳定的控制。
・在洁净工作台(100级)和洁净室进行清洁和组装工作,以确保清洁。
此外,我们进行充分的脱脂和清洁,进行油和水禁止处理*1,并在产品完成后实施无尘聚乙烯密封包装
。
・隔膜式气体接触部分经过电解抛光。
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