利用电子探针SEM和光电子能谱仪EDS对镀层成分或者表面污点进行成分分析。

适用范围：

1、金属及非金属表面涂、镀层各层的成分分析，采用精密分析设备电子探针，对各层成分进行分析，取样方式为切面法，对各层进行高倍放大进行点和面的分析，最薄的覆盖层厚度可以到0.1µm，优点是其分析精度高，采样直接有代表性。

2、表面污点的成分分析，分析设备为光电子能谱仪，通过与电子探针联合运用，可以对样品进行表面的点分析和面分析，对比分析可以知道材料表面污染造成的原因。