VEECO射频电源维修RF电源维修离子源维修 VEECO电源维修

测量：上电前用万用表测量高压电容两端的电压。如果开关美国AE电源不能振荡或出现开关管故障，多数情况下高压滤波电容两端的电压没有释放。由于电压非常高，请小心！在测量交流美国AE电源线两端的正反向电阻以及电容器的充电状态时，电阻值不宜过低，否则美国AE电源内部会出现短路。此外，应确认电容器释放和充电功率。然后，用户需要在释放负载后分别测量各个输出端的对地电阻。正常情况下，万用表的指示灯会摆动，表示电容器的放电或充电。

上电后检查美国AE电源保险丝是否熔断，元器件是否冒烟。如有需要，用户应切断美国AE电源进行维修。

测量高压平滑电容两端是否有300V电压输出。如果正常，用户应检查整流二极管和滤波电容等。

测量高频变压器次级线圈是否有电压输出。如果正常，用户应检查开关管是否损坏，开关管是否振荡，保护电路是否起作用等。如果发现上述方面的问题，用户需要检查整流二极管、滤波电容、三路在输出侧调节管。

如果开机后美国AE电源停止，用户应通过测量PWM芯片的保护电压来检查美国AE电源是否处于保护状态。如果电压超过规定值，说明美国AE电源处于保护状态，用户应找出保护状态的原因。