名称（Name）

真空式等离子处理系统

型号（Model）

CRF-VPO-4L-S

控制系统（Control system）

PLC+触摸屏

电源（Power supply）

380V/AC,50/60Hz, 3kw

中频电源功率（RF Power）

1000W/40KHz/13.56MHz

容量（Volume ）

30L(Option)

层数（Electrode of plies ）

4(Option)

有效处理面积（Area）

200(L)*150(W)(Option)

气体通道（Gas）

两路工作气体可选：Ar、N2、CF4、O2

产品特点

超大处理空间，提升处理产能，采用PLC+触摸屏控制系统，控制设备运行；

可按照客户要求定制设备腔体容量和层数，满足客户的需求；保养维修成本低，便于客户成本控制；

高精度，快响应，良好的操控性和兼容性，完善的功能和技术支持。

应用范围

真空等离子清洗机适用于印制线路板行业，半导体IC领域、硅胶、塑胶、聚合体领域，汽车电子行业，航空工业等。印制线路板行业：高频板表面活化，多层板表面清洁、去钻污,软板、软硬结合板表面清洁、去钻污，软板补强前活化。半导体IC领域：COB、COG、COF、ACF工艺，用于打线、焊接前的清洗；硅胶、塑胶、聚合体领域硅胶、塑胶、聚合体的等离子表面粗化、刻蚀、活化。

利用等离子设备对光伏电池进行清洗、蚀刻、镀膜、灰化和表面活化

电浆清洗装置，光伏电池生产中的处理应用。利用等离子设备对光伏电池进行清洗、蚀刻、镀膜、灰化和表面活化改性，通过等离子处理使光伏材料具有润湿能力，增强粘结力和粘附力，同时去除有机污染物。确保光伏组件产品在生产过程中符合工艺要求。PV电池模块需要的底板：材料，接线盒等。采用等离子体处理，确保接头张力符合规范要求。

现在，制作光伏组件等离子体处理设备主要是人工操作，费时费力。此外，等离子枪头与背板之间的距离无法**控制，容易造成背板损坏。PV背板等离子自动改造是指在电流微调工作台上方安装清洗装置。前装管道位置调整，控制方式由手动启动调整为自动控制，连接到管道。等离子体处理器在零件就位后自动启动，在零件与接线盒连接的区域进行等离子体处理，驱动等离子体加工机枪枪头在组装接线盒区域来回运转，进行清洗加工，完成后自动装入机枪箱。其具体流程如下：线体从左至右；产品从与上工位连接处流进，通过输送链输送到机器人下端；产品堵塞后，输送拖链停止输送；定位缸推动产品定位；输送线PLC输出完成的定位信号给机器人。收到定位信号后运行，通过椭圆平面轨迹完成对产品的表面处理。

当轨迹信号被输送至输送线的PLC后，输送线再次运行。该产品被送到下一个站点基底等离子清洗自动由x,y轴进行电机驱动。该底板枪在等离子处理器底板接线盒区域(面积为150*150MM)前后进料等离子清洗处理。每一次进给40MM,3次进给，4次往复进给，等离子处理长度150毫米。返回原点，准备下一步的清理工作。其主要功能是将PV电池产生的电与外部线路相连。部件内部引出线该装置连接接线盒内的内线，内线连接外线，使部件连接外线进行通信。

箱体用硅胶粘在模块底板上。为提高组件与底板之间的粘结力，通常要求在粘结点处进行等离子处理。

高频率的电浆发生器与电浆发生器由软管连接；高频率的电浆发生器安装在工作台上方的平滑轨道杆上，并安装在工作台上部的中央。具有纵条的工件轨迹，PC控制器连接手动开关，高频等离子发生器，并可进行操作。该系统以单片机为核心，设置X、Y轴轨迹，并对等离子发生器和等离子发生器进行同步控制。以导轨工作的工件线盒实现自动等离子扫描。采用自动改造技术，提高了等离子处理的生产效率和处理效果。

采用表面张力，提高接线盒与底板的粘结强度，使接线盒能承受110N起的拉力，高158N。对改造构件应进行干湿绝缘试验、等级保护试验、冻结试验和湿润试验。温度试验均符合试验规范。机械式定位可提高等离子处理的精度，减少背板烧伤。通过等离子自动处理改造，提高了生产线的自动化程度，减少了繁琐的工作，缩短了生产周期，实现了零件等离子处理的机械化操作，有效地提高了等离子清洗的效果。