GB/T 30901-2014

高纯氟化铵溶液

1范围

本标准规定了高纯氟化铵溶液的分级、要求﹑试验方法,检验规则﹑标志,标签、包装、运输,贮存和安全。

本标准适用于高纯氟化铵溶液。该产品主要应用于集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻等行业。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。

GB/T 191——2008包装储运图示标志

GB/T 6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T 6682——2008分析实验室用水规格和试验方法

GB/T 8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T 23769—2009无机化工产品水溶液中pH值测定通用方法

GB/T 23770--2009液体无机化工产品色度测定通用方法

HG/T 3696.1无机化工产品﹑化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备︰第Ⅰ部分:标准滴定溶液的制备

HG/T 3696.2无机化工产品﹑化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备﹑第⒉部分:杂质标准溶液的制备

HG/T 3696.3无机化工产品﹑化学分析用标准溶液、制剂及制品的制备﹑第3部分:制剂及制品的制备

6试验方法

警告:本试验方法中所使用的部分试剂具有腐蚀性,操作者应小心谨慎,避免与皮肤接触,如接触到皮肤上应立即用水冲洗,严重者应立即治疗。

6.1一般规定

本标准所用试剂和水,在没有注明其他要求时,均指分析纯试剂和GB/T6682—2008中规定的三级水,试验中所用标准滴定溶液、杂质标准溶液﹑制剂及制品,在没有注明其他要求时,均按HG/T 3696.1、HG/T 3696.2.HG/T 3696.3的规定制备。

6.2外观检验

在自然光下,将试样置于聚乙烯瓶中,用目视法判定外观。

6.3氟化铵含量的测定

6.3.1方法提要

试样中加甲醛与铵离子反应生成六次甲基四胺,并释放出酸,以酚酞为指示剂,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定。

6.3.2试剂

6.3.2.1妳中性甲醛溶液:1+1,等体积的甲醛和水混合,加2滴酚酞指示剂,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至淡粉色。

6.3.2.2氢氧化钠标准滴定溶液: c(NaOH)～0.5 mol/L。6.3.2.3 酚酞指示液:10 g/L。

6.3.3分析步骤

称取约1.3 g试样,**至0.000 2 g,置于塑料杯中,加20 mL 水,加40 mL中性甲醛溶液﹐摇匀，放置30 min。加2滴酚酞指示液,用氢氧化钠标准滴定溶液滴定至溶液呈粉红色,并保持30 s不褪色即为终点。