液相外延设备进口清关代理公司

制造商：日本制造商

简介：使用双快门轻松实现热平衡、化合物单晶生长装置。

概述：LPE设备（Liquid Phase Epitaxial）是一种在液相中生长薄膜晶体的设备。使用3区加热器可以获得佳温度梯度。

特点：快门是双重的，使均热更容易采取、助焊剂可从顶部排出、高精度基板升降、旋转驱动机构。

规格：

加热方式：电阻加热方式、3区

加热器：坎塔尔超级、各种金属加热元件（Mo、W、Ni、Cr）

加热温度：800～1300℃

均热长度：150mm±1℃（空炉）

提升速度：高速5～200mm/min、低速0.5～20mm/h

转速：1～30rpm/min（CW、CCW）