压力控制系统
APC200与GPC3000压流控制器基本上是为电容压力计提供一个电源(±15VDC)，与之相应的压力信号连接显示器，同时使用PID排气节流阀节流阀或Self-Tuning功能将压力控制连接起来的系统，其中,使用“Self-Tuning”功能,可根据流入室中气体的量、泵抽速度、阀位中的真空压力变化,以及其他重要的参数感知压力控制系数。使用此功能作压力控制时,可以更快地达到所需的压力。内置2个过程限制继电器,可帮助用户集成在装备中。
特点
至多可以连接4个MFC的PCB卡，每张PCB由2通道(2个MFC)组成。
标准的面板安装,通讯方式I/O或RS-232远程(RS-485选项)，实现所有远程控制都是可能的。
技术规格
阀门操作 | ATV1000排气节流阀，MKS型653和253排气节流阀及其他 |
压力输入信号 | 标准0-10Vdc |
输入功率要求 | 90-132或180-264 VAC, 50/60 Hz |
设置点 可编程的 外部模拟 | 总共5个，可在任何组合中编程，用于压力或阀位置 （可从前面板调节或从前面板旋转RS232设定、TTL或RS232） 0-10VDC |
控制器重复性 | ±0.1% F.S |
环境运行温度 | 15℃ - 45℃ |
输出功率 | ±15 VDC ±5% @ 1.5 Amp |
模拟量输出信号 | 0 - 10vdc用于0-阀门位置,0 - 10vdc用于1-满量程压力 |
尺寸 | 1/2机架安装:88mm 宽 x 241mm 长 x 225 高 |
显示 | LCD(压力、位置和外部设定点读数) |
显示单位 | Torr, mTorr, mbar, Pascal, cmH20, inH20, mbar, kpa 标准 |
PID控制 | 标准 |
远程零点 | |
接口 | 前面板设置，模拟，TTL和RS232，（RS-485选项） |
继电器输出 | 2个过程继电器: 24 Volts AC/DC 0.5Amp 电阻 |
远程控制 （打开、关闭、保持） | |
位置控制能力 |