真空技术 氦质谱真空检漏方法：GB/T 36176-2018

只测：喷吹法、漏率检测范围(5.0E-13~1.0E-02)Pa.m3/s

密封性 真空技术 氦质谱真空检漏方法

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真空技术是指利用机械、热力学、物理、化学等技术实现低压、超高真空等特定环境的技术。而氦质谱真空检漏方法是利用氦气的臭氧分子的小结构以及氦气快速扩散杂质的特性，在真空度较高时，密封件的微小泄漏会导致氦气泄露到系统外，通过检测氦气含量就可以判断密封件是否出现泄漏。

全国各地的制造业、仪器设备生产厂家、新能源企业、半导体电子企业、医疗设备生产厂家、科研院所等，对于真空技术氦质谱真空检漏方法都具有广泛的应用需求。

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