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污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。
多数设计为整体单向气流洁净室外的方案，只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。
垂直或水平气流的选择，取决于房间的结构和设备的安放位置，紊流就可以将污染物带走。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。
后来，为了节约成本，在bay-and-chase式的洁净室结构中，这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。

一般是粗效和中效过滤器的过滤机理。
扩散：气流中的微小粒子做无规则的运动，与障碍物撞击被钩留粘住，而被过滤掉。
粒子越小，运动越强，与障碍物撞击机会越多，效率越高。
这也被称作扩散机理。
这是亚、和超过滤器的过滤机理。
且纤维直径越接近粒子径效果越好。
气过滤器的性能过滤器性能一般包括过滤效率E；初阻力Hc；容尘量g。
过滤效率E=被过滤器过滤掉的（捕集的）粒子量/未过滤前空气中粒子总量1%一般而言：.1m粒子主要作扩散运动，粒径越小，效率越高。

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