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污染物的源头可能存在于手套箱、过滤模块等地方。
多数设计为整体单向气流洁净室外的方案,只有在这些区域中没有作业者、生产设备和排风装置时才能实现单向气流。
垂直或水平气流的选择,取决于房间的结构和设备的安放位置,紊流就可以将污染物带走。
洁净室内的架空地板是用来掩盖工具、设备与动力设备之间的电线、通讯电缆、水电、管道的连接的。
后来,为了节约成本,在bay-and-chase式的洁净室结构中,这些架空地板被当作从港湾到夹层的回内通道。
一般是粗效和中效过滤器的过滤机理。
扩散:气流中的微小粒子做无规则的运动,与障碍物撞击被钩留粘住,而被过滤掉。
粒子越小,运动越强,与障碍物撞击机会越多,效率越高。
这也被称作扩散机理。
这是亚、和超过滤器的过滤机理。
且纤维直径越接近粒子径效果越好。
气过滤器的性能过滤器性能一般包括过滤效率E;初阻力Hc;容尘量g。
过滤效率E=被过滤器过滤掉的(捕集的)粒子量/未过滤前空气中粒子总量1%一般而言:.1m粒子主要作扩散运动,粒径越小,效率越高。
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