蒸汽喷射器是一种用水蒸汽作为抽气介质来获得真空的装置。一定压力的蒸汽通过拉伐尔喷嘴以超音速射出。由压力能转化为速度能。在喷嘴出口处由于高速汽流的引射作用形成低压，工作蒸汽与被抽气流在混合室进行混合，并进行能量交换，混合气流在扩压管内得到减速增压。由于用户对真空度要求不同。每台蒸汽喷射真空泵可由单级或数级串接。级数越多，真空度越高（残压越低）。