洁净室又称无尘车间,是光电子等领域企业研发和生产的高标准空间载体。按照洁净程度,可分为十万级、万级、千级、百级等级别。生产的产品越精密、附加值越高,对洁净室的等级要求就越高。比如,晶圆制造的工艺精度在纳米级别,就需要在百级甚至更高等级的洁净室内生产。
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11月5日,生产中心正式投入使用,其中洁净室面积约1200平方米,占总面积的1/3,主要生产直径50毫米以上的特种光纤预制棒及下游产品。
“主要生产区域以万级洁净室为主,生产关键设备的区域达百级。高21米、贯穿4层楼的特种光纤拉丝塔整体也在洁净室内,用来衔接上下游生产工艺。”
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凭借自主研发的常压微波等离子体技术,飞瓴光电实现了特种光纤关键装备国产化。
“高标准洁净室作为重要的承载资源,担负着产业集聚的重要作用。”光电园建设服务中心主任杨志霞介绍,近期,位于光电园的源泰宇德、光谷新动力、凡谷电子等产业园的数万平方米闲置洁净室成功吸引多家头部企业入驻。
武汉东湖新技术开发区在光电子信息产业领域独树一帜。经过多年努力,光谷光电子信息产业集群实现了突破性发展,产业规模突破5000亿元,目前已发展成为全球最大的光纤光缆研发制造基地,全国最大的光器件研发生产基地、中小尺寸显示面板产业基地和重要的激光产业基地。
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据了解,武汉在存储芯片、光通信芯片、红外传感芯片领域全国领先。在湖北九峰山实验室、湖北江城实验室等科研场所,长飞光纤、武汉新芯、TCL华星等头部企业,都能见到高标准洁净室。随着国产化替代提速,以半导体、生物医药、新兴显示等产业为代表的企业,对洁净室的需求越来越多,对洁净室的等级要求越来越高。