AE CESAR射频电源维修 PEII-10K镀膜电源；射频电源RF-5S；RFG3000；RFG3001等系列维修。

主要服务于太阳能光伏、PVD镀膜，半导体薄膜、离子注入、刻蚀，平板显示，光盘、光电子LED等制造工艺以及科研院校、技术研究所等设备的高压、直流、射频电源。主要包括高压电源HV PSU、射频电源RFG、匹配网络RF Match、直流电源DC POWER、温度控制器Thermo Chiller，微波发生器等，提供设备维护维修保养整包、批量产品维修。

AE APEX 5513 射频电源维修 RFDS 1250、RFDS 1250-A 维修 ；Atlas 2、Atlas 1513、Atlas 3013维修； VHF 2060射频电源维修。