AP/PF PLASMA电源维修等离子变频电源

维修包括：PECVD、MOCVD、IONIMP,PLASMA的设备电源,包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER等。电源维修的时候，需要检测一下各功率器件是否存在击穿短路，例如电源整流桥堆、开关管、高频大功率整流管、浪涌电流的大功率电阻是否烧断等，需要再检测各输出电压端口电阻是否异常，如上述器件有损坏的情况我们则需要进行更换器件。

等离子清洗机的原理是等离子体和材料表面进行相互作用的过程，通过等离子体里面的各类活跃粒子撞击材料表面，从而大大提高材料表面的性能。