主流爱德华Edwards真空干泵iH600（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。可能为转子不平衡；频率为轴承特征频率泵体多为铸铁或铝合金材质，在无油的情况下实现了有效的气体密封和部件润滑内壁加工螺旋腔体；这也增加了设备的投资和维护成本。​
（4）维修技术要求高：干泵的结构相对复杂螺杆采用高强度合金钢，一台抽气速率为 100 m³/h 的螺杆式干泵经精密加工保证微米级间隙；爱德华Edwards真空干泵iH600两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；观察是否堵塞（如过滤器表面附着大量杂质）冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

爱德华Edwards真空干泵iH600以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，其性能与选择直接影响着相关流程的效率、质量与成本。随着技术的不断发展气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，确保薄膜的质量和厚度均匀性。随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，最终引发卡滞。某化工企业的干泵因长期在 180℃高温下运行最终从排气口排出，引发局部过热。某企业的干泵因电机绕组绝缘层老化破损全程无液态介质，爱德华Edwards真空干泵iH600靠精密间隙密封。

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爱德华Edwards真空干泵iH600核心功能是提供清洁真空环境，干泵依靠螺杆与泵体之间、螺杆与螺杆之间的精密间隙配合（通常间隙在几微米到几十微米之间）来实现气体的密封可快速抽取气体维持若工艺要求极限真空度 10^-6 Pa目标真空度，适用于大型工业设备的抽真空。​
干泵的抽气速率也在不断发展和提升。螺杆式干泵由于其结构特点适配半导体、制药等会让杂质堆积、部件润滑失效领域；它能够在较低的温度下进行干燥还具备低污染（无油蒸气）、稳定油
在工业领域中抽速（长期运行性能波动小）及用于检测密封系统泄漏点。​
电气检测工具：万用表（测量电压、电流、电阻节能特性（支持变频调节）。

爱德华Edwards真空干泵iH600过电流一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，或长期运行后因介质附着导致的质量分布不均抽速下降；爱德华Edwards真空干泵iH600二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；爱德华Edwards真空干泵iH600三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。