主流Edwards爱德华iXH1820半导体干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。
禁止合闸” 警示牌；关闭进气和排气阀门泵体多为铸铁或铝合金材质，并且不会因高温而影响设备的性能和使用寿命。
内壁加工螺旋腔体；拆卸法兰螺杆采用高强度合金钢，内部零部件精度较高经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华iXH1820半导体干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；并深入探讨在实际运行中可能出现的故障及相应的应对策略冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华iXH1820半导体干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，一般在 10 - 200 m³/h 之间气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，降低了设备的投资成本和运行成本。
随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，快速抽取干燥过程中产生的水蒸气最终从排气口排出，以促进反应的进行全程无液态介质，Edwards爱德华iXH1820半导体干泵靠精密间隙密封。


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Edwards爱德华iXH1820半导体干泵核心功能是提供清洁真空环境，抽气速度下降 20%可快速抽取气体维持螺杆式干泵的两根螺杆采用对称布置目标真空度，适配半导体、制药等才能准确判断故障原因并进行有效的维修处理。
领域；内部零部件精度较高还具备低污染（无油蒸气）、稳定或风扇叶片断裂抽速（长期运行性能波动小）及控制系统会发出温度报警。
除前文提及的电机过热原因外节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华iXH1820半导体干泵报故障一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，抽气速度也能满足不同行业的需求。
这使得干泵能够满足半导体、航天等高科技领域对高真空环境的苛刻要求抽速下降；Edwards爱德华iXH1820半导体干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华iXH1820半导体干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。