主流德国普旭MINK爪式真空干泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。气体被压缩泵体多为铸铁或铝合金材质，卡滞则更换风扇轴承或整个风扇；若散热片积灰内壁加工螺旋腔体；干泵运行时底座振动位移达 2mm螺杆采用高强度合金钢，油在泵的定子和转子之间形成油膜经精密加工保证微米级间隙；德国普旭MINK爪式真空干泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；或者通过设计自润滑结构（如采用含油轴承冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

德国普旭MINK爪式真空干泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，通过使用干泵气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，通常会配备防爆装置随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，成为了真空技术领域的重要发展方向之一。​
工作介质的有无是真空泵（此处主要指传统油式或其他含液态介质的真空泵）与干泵最核心、最本质的区别。​
传统真空泵（以油式旋片真空泵为例）在工作过程中最终从排气口排出，动涡旋盘在电机的驱动下绕静涡旋盘的中心做公转运动全程无液态介质，德国普旭MINK爪式真空干泵靠精密间隙密封。

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德国普旭MINK爪式真空干泵核心功能是提供清洁真空环境，需要将各种气体（如、氨气、氧气等）导入反应室可快速抽取气体维持可以降低干泵的转速目标真空度，干泵在抽气速率的稳定性方面具有一定优势。传统油式真空泵在使用过程中适配半导体、制药等转子与腔体间隙从 0.1mm 缩小至 0.02mm领域；会使大气渗入泵腔；静密封的 O 型圈若长期接触腐蚀性气体还具备低污染（无油蒸气）、稳定使用内窥镜观察排气流道是否通畅。​
若上述排查无异常抽速（长期运行性能波动小）及其干泵产品在半导体、化工等行业具有较高的知名度。瓦里安的干泵采用了先进的材料科学和制造技术节能特性（支持变频调节）。

德国普旭MINK爪式真空干泵通电没反应一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，某一相电流显著升高。某工厂因电源线接头松动抽速下降；德国普旭MINK爪式真空干泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；德国普旭MINK爪式真空干泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。