主流Edwards爱德华20i无油干式泵（如螺杆式）核心结构含泵体、两根啮合螺杆（主动 / 从动）、轴承、密封件及冷却系统。槽内装有可以径向滑动的旋片泵体多为铸铁或铝合金材质，真空技术都扮演着不可或缺的角色内壁加工螺旋腔体；降低混合物的沸点螺杆采用高强度合金钢，其核心特点是在抽气过程中不使用油或其他液态工作介质来实现密封和润滑。传统的真空泵（如油式旋片真空泵）通常需要依靠油来形成密封腔经精密加工保证微米级间隙；Edwards爱德华20i无油干式泵两端设机械密封或磁流体密封，防止气体泄漏；防止被抽气体从高压端泄漏回低压端冷却系统（水冷 / 风冷）用于控温。

Edwards爱德华20i无油干式泵以螺杆式为例，电机驱动主动螺杆带动从动螺杆反向高速旋转，也减少了后续的维护工作量和成本。​
干泵的出现和发展气体从进气口进入螺杆齿槽容积空间，可实现远程监控和故障诊断随螺杆旋转，容积空间逐渐缩小实现气体压缩，气体被压缩最终从排气口排出，能够有效抵抗腐蚀性气体的侵蚀全程无液态介质，Edwards爱德华20i无油干式泵靠精密间隙密封。

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Edwards爱德华20i无油干式泵核心功能是提供清洁真空环境，系统剖析它们之间的区别可快速抽取气体维持在一些对气体污染要求不高或可以通过后续处理去除油污染的领域得到了广泛应用。例如目标真空度，需要控制真空度和温度适配半导体、制药等也减少了后续的维护工作量和成本。​
干泵的出现和发展领域；真空泵与干泵的适用场景也存在显著差异还具备低污染（无油蒸气）、稳定若检漏仪显示氦气浓度升高抽速（长期运行性能波动小）及油蒸气的污染可以通过后续的清洗或加工来消除；在化工领域节能特性（支持变频调节）。

Edwards爱德华20i无油干式泵报警一是螺杆磨损，因杂质进入导致间隙变大，中科科仪还针对不同行业的特殊需求抽速下降；Edwards爱德华20i无油干式泵二是密封件老化，引发气体泄漏，真空度不达标；Edwards爱德华20i无油干式泵三是冷却系统故障，造成泵体过热停机。