长处
L20系列专为高压半导体工艺制造气体而设计，基本结构为外部金属密封和焊接接头，是一种具有优异外部泄漏和颗粒性能的产品。
此外，还提供多种选项来处理各种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。
| 入口压力 | 14.8MPa以下（最大19.6MPa） |
| 调节压力 | 最大0.99MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa ） |
| 原始压力的波动 | 进口压力：每0.1MPa，调节压力变化0.00021MPa |
| 耐压压力 | 22.2MPa （入口侧） |
| 简历值 | 0.09 |
| 工作温度 | -10~+40°C |
| 外部泄漏 | 1×10-11Pa・m3/s・He （真空方式） |
| 内部容积 | 4.67厘米（不包括3个压力表和配件） |
| 质量 | 约1.29公斤 |
| 安装方式 | 使用前面板安装螺母或后螺钉进行安装（见外观） |
| 气体接触部分 | |||||
| 不锈钢316 L | |||||
| 不锈钢316 L | 哈氏合金®C-22 | 不锈钢316 L | |||
| 哈氏合金®C-22 | 不锈钢316 L | ||||
| 聚氯乙烯 ® | |||||
| 不锈钢316 | 哈氏合金 ® | 不锈钢316 | |||
| 镍 | 不锈钢316 | ||||
| 非气体接触部分 | |||||
| 不锈钢316 | |||||
| 黄铜（镀镍） | |||||
| 不锈钢304 | |||||
| ABS塑料 | |||||
| 丁腈橡胶 | |||||