规格| 24 VDC （±10%），最大 6W |
| <4秒@12“（典型值）;从风扇中心在线测量（±1000V-100V） |
| ±3V 或更好 @ 12“ （30.5 厘米） 远 警告设定点：+3.5V （±0.5V）、-3.5V （±0.5V） 报警设定点：+5.0V （±0.5V）、-5.0V （±0.5V） |
| ISO 14644-1 5 级 |
| 4.33“高 x ****”宽 x 1.6“深（11.0 x 8.0 x 4.07厘米），不含支架 |
| 0.55 磅（0.25 千克） |
工具内微型鼓风机
Simco-Ion 的微型系列鼓风机专为空间受限的**关键环境工具内应用而设计。新型 5941 微型鼓风机设计紧凑，但非常有效地满足当前对先进自动化过程工具的要求。这款出色的紧凑型工具内鼓风机高 4.33 英寸（110 毫米），宽 **** 英寸（80 毫米），在后端半导体环境中提供出色的性能。
±3V 或更好的平衡
紧凑的尺寸
清洁度等级为 ISO 14644-1 5 级
设施监控系统 （FMS） 连接
自动清洁系统
