掩膜版质量的优劣直接影响光刻的质量。在芯片制造过程中需要经过十几甚至几十次的光刻,每次光刻都需要一块光刻掩膜版,每块光刻掩膜版的质量都会影响光刻的质量。光刻过程中,通常通过一系列光学系统,将掩膜版上的图形按照 4:1 的比例投影在晶圆上的光刻胶涂层上。由于在制作过程中存在一定的设备或工艺局限,光掩膜上的图形并不可能与设计图像完全一致,即在后续的硅片制造过程中,掩膜板上的制造缺陷和误差也会伴随着光刻工艺被引入到芯片制造中。因此光掩膜的品质将直接影响到芯片的良率和稳定性。
掩膜版材料及厚度的选取:
材质的选取方面,我们选用高韧性的SUS304 H不锈钢材料,这样做出来的掩膜版不但精度高,而且表面光滑,产品不易受弯折而变形,经久耐用,同时还能够让掩膜版板与器件保持很紧密的贴合,减少阴影效果。
我们所采用的不锈钢厚度包括0.03mm,0.05mm,0.06mm,0.08mm到1 mm的各种尺寸,采用较薄的不锈钢制备出来的掩膜版所产生的阴影效果会较少,扰度较可控。
本公司承接各种图案定制,客户较好能提供包含尺寸的CAD版设计图。如果画图实在有困难,我们可以根据客户描述来绘制,同时我们还能对客户的掩膜版设计提供一些建议。
如何才能保证激光精密切割加工金属掩膜板的好品质?
1.客户要找到一家****的金属掩膜板激光精密切割加工厂。只有****的激光精密切割工厂,相应的设备,包括激光精密切割设备,前处理除油除尘设备,滚涂设备,曝光图形转移设备,显影设备,激光精密切割加工设备,二次元影像仪设备,无尘洁净室等,以及专业的操作人员都很重要
2.体系是否完备?不要认为ISO9001和ISO14001是个摆设,真正完全做到7S标准的工厂,永远都是规范整洁的工厂。就像客户常和我们说的:一个规范整洁的工厂,相信做的产品也不会差到哪里去。
3.客户服务是否完备?服务客户就是帮助客户,服务客户就是帮助客户解决问题。积极提供各种解决方案,业务人员主动提出解决问题的方案,是取得客户信任的一大要件,不要一味的点头,说是。主动发现问题,预防问题才是做好相关产品的*为根本的要件!
4.细节有无到位?细节决定成败!激光精密切割加工的产品我们要保证每个细节,每个关键尺寸的准确,检测到位,保证符合客户的工程图纸的要求,不能马虎了事。
5.供应商的稳定性也是保证激光精密切割加工的品质的重要一环。材料材质稳定有保证,是加工好产品的前提。华诺普锐斯的材料进货渠道都是正规大的钢材压延厂直供,材质稳定,环保达标,万不可为节省小成本,造成大失败!