掩膜版(Photomask),又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等,是微电子制造中光刻工艺所使用的图形母版, 由不透明的遮光薄膜在透明基板上形成掩膜图形,并通过曝光将图形转印到产品基板上。掩膜版是芯片制造过 程中的图形“底片”,用于转移高精密电路设计,承载了图形设计和工艺技术等知识产权信息。掩模版用于芯片 的批量生产,是下游生产流程衔接的关键部分,是芯片精度和质量的决定因素之一。
光掩膜主要分两个组成部分,即基板和不透光材料,不同掩模版的不透光材料有所不同。基板通常是高纯 度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。不同种类光掩膜使用的不透光材料不同。光掩膜分为铬版(苏打玻 璃、石英玻璃、硼硅玻璃)、干版、菲林、凸版(APR)。铬版的不透光层是通过溅射方法镀在玻璃下方厚约 0.1um 的铬层。铬的硬度比玻璃略小,不易受损但有可能被玻璃所伤害。应用于芯片制造的光掩膜为高敏感度 的铬版。干版涂附的乳胶,硬度小且易吸附灰尘,不过干版还有包膜和超微颗粒干版,后者可应用于芯片制造。
掩膜板的材质有:金属、不锈钢、钼片、陶瓷等。
厚度:0.05--3不等。
产品价格评估:以材料材质、产品要求的材料厚度、孔径管控的精度要求,以及量产数量综合评估。理想的方式是提供工程图给到我们,简洁明了,可以及时回复相关评估。
掩膜板 产品功能加工特点
掩膜板特定产品材料材质:SUS304不锈钢,SUS316不锈钢,铜,及厚度 (公制):0.1,0.15,0.18,0.2,0.25,0.3,0.4.等