3.2.2幅值线性误差:
振动位移(P-P):0~20μm,≤±10% >20μm,≤±5%
振动速度(RMS): 0~2.0mm/s, ≤±10% >2.0mm/s,≤±5%
振动加速度(O-P):0~2.0m/s², ≤±10%>2.0m/s²,≤±5%
加速度传感器信号首先经滤波放大得到加速度信号,然后经一级积分得到速度信号,此信号再经一级积分便得到位移信号,
3.2.2幅值线性误差:
振动位移(P-P):0~20μm,≤±10% >20μm,≤±5%
振动速度(RMS): 0~2.0mm/s, ≤±10% >2.0mm/s,≤±5%
振动加速度(O-P):0~2.0m/s², ≤±10%>2.0m/s²,≤±5%
加速度传感器信号首先经滤波放大得到加速度信号,然后经一级积分得到速度信号,此信号再经一级积分便得到位移信号,