华诺激光精密钻孔机采用高功率高稳定紫外激光器直接烧蚀气化材料，μm级加工孔径，μm级热影响区； 通过进口精密振镜高速高精度控制光束偏移，实现高速小幅面精密微孔加工； 通过微米级进口直线电机平台平移实现高速高精度大幅面微孔加工；系统采用大理石台面，提升系统的综合稳定性，所有机械部件精心选配以保证长期精度；*小加工微孔孔径5μm，整体加工精度±4μm，局部特征精度＜3μm。

精密激光钻孔机相对于电火花微细孔加工、机械钻孔、化学腐蚀、机械冲孔等等，精密激光钻孔机具有以下优点： 

高速（*高每秒4000孔） 高精度（＜3μm） 

无材料限制（金属、陶瓷、硅片、玻璃，有机物等等） 

无污染无耗材，直接加工成型