| 最高温度（℃） : | 1500 |
- 产品描述：
- 立式化学气相沉积炉（沉积炭）用于以碳氢气体（如C3H8、CH4等）为碳源的材料表面或基体的CVD/CVI处理。
- 应用范围：
- 炭/炭复合材料刹车盘、坩埚、模具等
立式化学气相沉积炉（沉积炭）技术特征
采用多温区独立控温，温度均匀性好;
采用特殊结构沉积室，密封效果好，抗污染能力强；
采用多通道沉积气路，流场均匀，无沉积死角，沉积效果好；
对炭沉积过程中产生的焦油、固体粉尘、有机气体等能进行有效的处理。
立式化学气相沉积炉（沉积炭）配置选择
炉门：丝杆升降/液压升降/手动升降；旋转移开/平行移开（大尺寸炉门）；手动锁紧/自动缩圈锁紧
炉壳：全碳钢/内层不锈钢/全不锈钢
炉胆：软碳毡/软石墨毡/硬质复合毡/CFC
加热器、马弗：等静压石墨/模压三高石墨/细颗粒石墨
工艺气路系统：体积/质量流量计；
热电偶：K分度号/N分度号/C分度号/S分度号