8寸/12寸晶圆专用无氧化烘干箱

8寸/12寸晶圆专用无氧化烘干箱

一、充氮无氧烘箱特点：

 1..全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生微尘；

 2..适合于无尘室环境中使用

 3. 日本富士P.I.D智能温控仪表，操作便捷！

 4. 六个腔体独立控制，节省空间，操作方便！

 5. 全不锈钢材质，外观精致美观！

二、充氮无氧烘箱主要参数：

 1. 产品型号及名称：充氮无氧烘箱 ANN-6D

 2. 规格尺寸：工作尺寸：W450*H380*D450(6腔体)

 3..温度范围：RT＋10℃～250℃，40-45分钟(空箱测试)。

 4. 温度控制：精度±0.5%;

 5. 温度均匀：±2% (空箱测试)

 6. 功    率：18KW

 7. 降    温：采用风冷降温方式

 8. 加 热 器：特质复合式SUS304＃不锈钢无尘电热产生器

 9. 保温材质：120K级高密度硅酸铝纤维填充，保温层厚度为100mm

 10 每个工作腔配置独立的氮气流量计。

 11.温控系统：

温控装置：富士P.I.D智能温控仪表， LED数字显示及设定、P.I.D自动演算、八段程

序控制（六套）。

    温控输出：SSR输出，欧姆龙继电器，固态继电器。

    测温装置：1支PT100铂电阻温度传感装置，测温。

    定时装置：HS48S-99.99定时仪表。

 12.完善的安全保护措施：

炉门自锁装置//漏电断路器//超温保护//超时报警//马达过载电流保护//机台异常蜂

鸣器警示

业务经理：蒋鑫;  手机号：15221744475