电子无尘车间 洁净室图纸设计施工
电子工厂洁净厂房的特点:
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gb50472-2008电子工业洁净厂房设计规范
微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径iso1级或更严格。
高纯物质,包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定对防静电、电磁兼容等大体量、多层单向流洁净室,二层/三层布置数万m2。
.0.3 电子工业洁净厂房的设计应满足需洁净环境的电子产品生产工艺要求,并应根据具体情况为今后产品生产发展或生产工艺改进的需要预留条件。
表3.2.3 洁净室(区)温度和相对湿度要求
4.2.2 电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间应包括活动地板以下的下技术夹层、洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。
4.2.3 洁净室型式的选择应综合生产工艺要求、节约能源、减少投资和降低运行费用等因素确定,各种空气洁净度等级的电子工业洁净厂房宜采用混合流洁净室。对空气洁净度净度要求严格时,宜采用微环境等型式。
.4.2 物料净化用室与洁净室(区)之间应设置气闸室或传递窗。
.2.1 气流流型的设计,应符合下列要求:
1 气流流型应满足产品生产工艺和空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级为1~5级时,应采用单向流或混合流;空气洁净度等级为6~9级时,宜采用非单向流;
2 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺和工作人员健康的要求。
●n9级~n5级微电子无尘车间、光电净化车间设计施工;
●ⅰ~ⅳ级sc食品工业洁净用房设计、建造;
●ⅰ~ⅳ级医院洁净手术部、icu、、供应室设计、安装及维护保养;
●a~d级gmp医药工业洁净厂房设计、建造及维护保养;
●30万级~100级医疗器械净化车间、消毒用品车间设计施工;
●生物安全、动物实验室及其他行业通风净化系统设计、建造及维护保养;