什么是靶材?
沈阳鹏程真空技术有限责任公司——专业电阻热蒸发镀膜产品供应商,LF50水冷电极定做,我们为您带来以下信息。
靶材就是目标材料。
用于高能激光器械中,不同功率密度、不同输出波形、 不同波长的激光与不同的靶材相互作用时,会产生不同的杀伤破坏效应。
用于物理镀膜中的溅镀,主要有金属靶材和陶瓷靶材。
磁控溅射镀膜是一种新型的物理气相镀膜方式,较之较早点的蒸发镀膜方式,其很多方面的优势相当明显。
作为- -项已经发展的较为成熟的技术,LF50水冷电极,磁控溅射已经被应用于许多领域。
高温束源炉的特点
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温度控制和均匀的基于SCR 功率输出电源实现准确的沉积速率控制,并确保高质量的,均匀的膜。
◆ 使用PID 控制器进行温度控制,控制在±1℃
◆ 自动调节模式
◆ 可调节报警条件
◆ 速率控制输入与沉积控制相兼容
溅射靶材的种类
溅射靶材的种类较多,即使相同材质的溅射靶材也有不同的规格。
按照不同的分类方法,能够将溅射靶材分为不同的类别,主要分类情况如下:
按形状分类:长靶、方靶、圆靶
按化学成份分类:金属靶材(纯金属铝、钛、铜、钽等)、合金靶材(镍铬合金、镍钴合金等)、陶瓷化合物靶材(氧化物、硅化物、碳化物、硫化物等)
按应用领域分类:半导体芯片靶材、平面显示器靶材、太阳能电池靶材、信息存储靶材、I具改性靶材、电子器件靶材、其他靶材。
表面原子发生动能交换,使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面,被轰击的固体 是用溅射法沉积薄膜的原材料,LF50水冷电极生产厂家,称为溅射靶材。
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