作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，长输管道氮气置换，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
燃气管道安装中氮气置换套什么定额?
表1 小管径管道用液氮汽化置换换算系数
序号 公称直径 换算系数 备注 1 DN200以内 0.6 换算子目5-3402 2 DN300以内 0.7 换算子目5-3402 3
DN400以内
0.8
换算子目5-3402
注：相应的分析化验台班不做换算。
6.分析化验台班：按设计文件或氮气置换方案确定的分析化验台班数量计算。若无明确规定，则按每一置换段管道或管段进气、出气端各设置一个分析化验点计算。
7.置换机械设备台班停滞占用费，计算方法为：每超过7小时计一台班，管道 氮气置换，行驶设备按台班费用的80%计算，管道氮气置换，非行驶设备按台班费用的50%计算（台班单价按定额机械台班费计）。
8.操作人员等待费，液氨管道氮气置换方案，计算计算方法为：每超过7小时计一工日，只计人工工日单价44.50元/工日，不再计取费用。
2.3.氮气置换范围:
(1)本次氮气置换范围为长度为2.5KM的管道。
(2)置换系统中涉及到所有管线和设备上的连通阀门打开。
(3)置换系统中涉及到的天ran气储罐、天ran气压缩机、天ran气汽化器、天ran气泵、稳压罐等及管道上的各仪表一次阀需打开一并置换。
(4)置换系统中以上涉及到的设备、管道上的排空阀和排污阀需关闭。
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