如何控制无尘洁净室的温度湿度？
湿度过高发生的问题更多，洁净净化工程，相对湿度超越55%时，冷却水管壁上会结露，假如发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将经过空气中的水分子把硅片外表粘着的灰尘化学吸附在外表耐难以铲除由于加工精度越来越精密，所以对温度波动规模的要求越来越小。例如在大规模集成电路出产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板资料的玻璃与硅片的热胀大系数的差要求越来越小。
净化工程验收是如何进行的呢？
1、竣工验收应由建设单位负责，合肥净化工程，组织施工、设计、监理等单位进行验收。
2、使用验收应在功能验收完成后进行，由建设单位负责，可由具有相应检测资质的第三方或由建设单位与第三方共同进行测试。设计、施工单位配合。
只有确保净化工程验收后符合标准，才能控制空气中的尘粒，空气中的异味，有毒气体及杀1死细菌，保证产品质量。
洁净室净化工程设计
设计合理的空间面积应考虑到设备操作、维修的需要。生产区和储存区应有与生产规模相适应的空间面积，用以安置设备、物料，便于操作和维修。一般洁净室高度控制在2.60米，无菌室净化工程，对个别较高的设备可在局部加高，而不宜提高洁净区的高度。车间内部应设有物料的中间站，其面积足以存放物料、中间产品、待验品和成品，且便于明确分区，以*大限度地减少差错和交叉污染.二、提高设备水平设备的材质、加工精度、密闭程度以及管理制度都与交叉污染有关。所以除了合理布局外，提高设备的自动化水平和组成联动的生产线，以减少操作人员，降低人员的活动频率，是防止交叉污染的必要措施。
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