作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，氮气置换量，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
天然气管道置换方法
置换方法分类
天ran气管道置换方法分直接置换法和间接置换法。
直接置换法是采用天ran气置换燃气设施中空气的方法 ；
操作方便、快捷、经济，但具有一定的危险性。
间接置换法是采用惰性气体( 或氮气) 置换燃气设施中空
气，再用天ran气置换惰性气体( 或氮气) 的方法；操作程序繁多、
费用高昂，但安全可靠。
置换方法选用
对管径小或长度短的管道，在确保安全的前提下，可选用
直接置换法，这是因为上述管道容积有限，氮气置换合格，产生的混合气体体
量受限，混合气体浓度停留在极限范围内的时间较短，容
易控制 ；否则应选用间接置换法。据有关燃气企业规定，对主
管道和直径大于90mm 的分支管道，氮气置换，如置换量不超过2.5 m3，
可直接置换 ；如置换量超过2.5 m3，应进行间接置换 ；对直径
不大于90mm 的分支管道，可直接置换。
置换步骤
新建天ran气管运前，氮气置换步骤为 ：
(1) 氮气置换出管网内的空气 ；
(2) 天ran气置换出管网内的氮气。
在运天ran气管网进行检修时，首先需将管网内的天ran气
安全放散后方可进行氮气置换，其步骤为 ：
(1) 氮气置换( 又称一次注氮) 出管网内残留天ran气，合格
后方可施工作业 ；
(2) 施工完成后，再使用氮气置换( 又称二次注氮) 管网内
存在的氮气和新进入的空气混合气体 ；
(3) 天ran气置换出管网内的氮气。
氮气置换液化气流程
为了废碱性水的问题，在 2013 年
过程中，通过外引高压氮气（2.5 MPa）对
液化气脱硫醇系统内部液化气进行置换处理。根
据液化气脱硫醇装置的工艺流程，通过添加临时
线变通，从液化气脱硫醇各设备顶部充压，底
部引出退料，退料液化气全部转入液化气缓冲罐
D-501，然后使用液化气 P-501 转进液化气罐区，
避免氮气进入液化气罐区，对罐区造成冲击。工
艺流程见图 1。因氮气密度比液态液化气轻，因
此临时配管退液化气线必须从各塔、罐底部引
出。
退液化气脱硫醇系统中液化气的基本步骤
为：
1）高压（2.5 MPa）氮气经 P-504 出口沿催
化剂碱线进 C-501 塔顶，实现脱硫醇装置液化气
系统充压。
2）C-501 充压至 1.2 MPa，氮气沿正序流程
先进 E-503，后进水洗罐 D-503、沉降罐 D-504，
通过各设备底部临时管线，依次退净 E-503、
D-503、D-504 内液化气至缓冲罐 D-501。 3）C-501 退料通过催化剂碱液线转进 D-501，
C-501 退碱时，氮气置换注意，应保证碱液退净，液化气退料线
上进下出，通过现场玻璃板以及现场流量计变化
情况判定是否压净。
4）D-502 充压：从 C-501 入口线经 E-502 倒
转进罐，尽量将管线内液化气置换干净，通过罐
底退水线转进 D-501，实现氮气上进下出，通过
现场玻璃板判定液化气是否压净。
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