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广州潽拓光电——
德国 Pfeiffer Vacuum 普发真空
分子泵 Hipace 80/TMH 071 系列的工作原理
设计/工作原理
普发真空于 1958 年由 W. Becker 博士开发涡轮分子泵并获 得专利。涡轮分子泵属于动能
真空泵的范畴。它们的设计类 似于涡轮机的设计。多级、具有叶盘的涡轮状转子在壳体内 旋
转。涡轮机或压缩机的叶片被统称为叶片装置。转子盘之 间插入的倒置镜是具有类似几何
形状的叶片定子盘。
轴承
通过两个球轴承安装涡轮分子泵转子轴需要将两个球轴承都 安排在前真空侧，因为轴承中
有润滑剂。这导致转子凭借其 较大质量产生的单边（悬臂）支撑
电动机/驱动器
能够提供旋转频率高达 1，500 Hz (90，000 rpm) 的无刷直流电 动机用于驱动转子。这使得叶
片速度是泵送气体所必需的。
如今，德国进口普发分子泵原理，驱动器通常都是直接连接到泵上。电源是 24、48 或 72 伏的直流电，通过外部电源
包或集成在泵的电子单元中的 电源包产生电流
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广州潽拓光电——Shimadz岛津EI-3203MD磁悬浮分子泵控制器维修
基本参数：
品牌：Shimadzu
型号：EI-3203M
加工定制：否
额定电压：200-240（V）
额定电流：10（A）
功耗：1200（W）
外形尺寸：400x196x198（mm）
产品认证：cccc 同参数产品
产品别名：真空分子泵控制器
适用范围：玻璃镀膜
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广州潽拓光电科技——出售Varian TV551分子泵
瓦里安Varian TV551涡轮分子泵共有四种规格
Varian Turbo-V 551 泵提供从 350 至 510 升/秒（视气体而定）的抽速，并且采用 产品线中*先进的技术。（转向按防护罩指示方向）⑺对于有冷却水的真空泵，按规定接通冷却水。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强是实现*大的压差。该泵为无油、无污染型，并且具有非常低的故障率，汕头德国进口普发分子泵，可以在任何角度工作而不对材料施加应力。典型的 MTTF 超过 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的专用泵。
上图为Varian TV551 对应口径为ISO100，
Varian TV551对应不同的口径，不同订货号的如下（内置分子泵电源）
Varian TV551 Model 969-8835 with ConFlat 6. external diameter high vacuum flange.
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