质量流量控制器能用于控制腐蚀性气体和特殊气体吗? 如何选择密封材料?
质量流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成严重损失。
通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的MFC原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。对于三氯化硼等强腐蚀性气体和MOCVD使用的金属氧化物气体建议采用金属密封的MFC。
由于金属密封的MFC价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的MFC。如果不特殊声明, MFC都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体,气体质量流量控制器公司, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; 三氯化硼等——需要采用全氟橡胶。
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流量控制器内存在水汽有多糟解决方法
如果ALICAT质量流量控制器内渗入水汽,情况则不至于那么糟。与热式原理不同,ALICAT质量流量计、质量流量控制器采用层流压差技术,流量控制器公司,依托专利的层流片结构将气体由湍流转为层流运动,通过测量层流片两端气体压力差的方法来测量流量。
上述水处理工厂无法忍受每次渗入水汽后都不得不采购一批新的质量流量控制器,终将所有热式原理的仪器替换成了ALICAT。而今,当再有液态氨进入到质量流量计或质量流量控制器内部时,只需简单地用高压氨气冲洗管路后进行消毒即可。
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质量流量控制器特点
1、 稳定的流量供给,不受温度、压力变化
2、 宽量程比,可达100:1
3、 高达0.1%的重复性和1.0级的精度等级
4、 多参数显示和输出:温度、压力、流量等
5、 内置70余种气体,质量流量控制器公司,触屏式直接操作切换,无需重新校准
6、 标配三种显示方式:数字、模拟和本地面板
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