振鑫焱光伏科技有限公司常年采购:高价回收硅片,电池片,初级多晶硅,银浆布,单晶硅,多晶硅,太阳能电池,光伏组件,太阳能电池板,客户撤退,降级,库存,El,不良测试,二手,旧,工程,拆卸,路灯,拆解电站,拆卸,胶合板,层压板,无边界晶体硅,多晶硅,单晶硅,实验板,债务偿还,返工,光伏模块回收等。
刻蚀工艺
刻蚀目的
将硅片边缘的带有的磷去除干净,避免 PN 结短路造成并联电阻降低。
刻蚀原理
采用干法刻蚀。采用高频辉光放电反应, 采用高频辉光放电反应,使反应气体激活成活性粒子,如原子或各种游离基,这些活性粒子扩散到硅片边缘,在那里与硅进行反应,形成挥发性生成物四氟化硅而被去除。
化学公式: CF 4 SIO 2 =SIF 4 CO 2
工艺流程
预抽,主抽,送气,辉光,抽空,清洗,预抽,主抽 ,充气。
影响因素
1. 射频功率
射频功率过高:等离子体中离子的能量较高会对硅片边缘造成较大的轰击损伤,导致边缘区域的电性能差从而使电池的性能下降。在结区(耗尽层)造成的损伤会使得结区复合增加。
射频功率太低:会使等离子体不稳定和分布不均匀,从而使某些区域刻蚀过度而某些区域刻蚀不足,导致并联电阻下降。
2. 时间
刻蚀时间过长:刻蚀时间越长对电池片的正反面造成损伤影响越大,时间长到一定程度损伤不可避免会延伸到正面结区,从而导致损伤区域高复合。
刻蚀时间过短:刻蚀不充分,没有把边缘鳞去干净, PN 结依然有可能短路造成并联电阻降低。
4. 压力
压力越大,气体含量越少,参与反应的气体也越多,刻蚀也越充份。
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晶体硅电池片
3) 尺寸:符合厂家提供要求± 0.5mm 尺寸
1)厚度偏差:电池厚度的测量值与标称厚度允许的大差值。
2)总厚度偏差:在一系列点的厚度(包含电极厚度)测量中,被测电池的大厚度与小厚度的差值。
4)弯曲度: 正放电池片于工作台上,以塞尺测量电池的弯曲度,“ 125 片”的弯曲度不超过 0.75mm ,电池的弯曲变形,一般情况下,用电池的弯曲度来衡量,电池的弯曲度如下图所示。
5 )电性能:按来料总数的千分之二比例进行抽测,功率偏差在合同约定范围之内;
可焊性:用符合该电池片的互联条,60w烙铁,温度 320—380 °。 将互联条撕开后,主栅线上留下均匀的银锡合金,则认为该电池片具有可焊性。
7 ) 细栅线印刷:用橡皮在同一位置来回擦 1 0 次,栅线不脱落则认为合格。
8 ) 减反射膜 与基体材料的附着强度的测试采用胶带试验测定粘合性的方法,胶带附着强度不小于 44N/mm ,减反射膜不脱落。
电池片各工艺流程危害要素及异常现象
4.NaOH产生金字塔式绒面。NaOH浓度值越高,金字塔式容积越小,反映前期,金字塔式成核相对密度类似没受NaOH浓度值危害,碱水溶液的腐蚀随NaOH浓度值转变比较显著,浓度值高的NaOH水溶液与硅体现的速率加速,再反映过段时间后,金字塔式容积更大。NaOH浓度值超出必须界线时,回收拆卸多晶硅,各向异性系数缩小,绒面会愈来愈差,类似打磨抛光。可控性水平:与IPA相近,线性度不高。
5.Na2SiO3SI和NaOH反映生产制造的Na2SiO3和添加的Na2SiO3能具有缓冲剂的功效,使反映不会很强烈,变的轻缓。Na2SiO3使反映拥有大量的起始点,生长发育出的金字塔式更匀称,更小一点儿Na2SiO3多的那时候要立即的排出去,Na2SiO3传热性差,会危害反映,水溶液的黏稠度也提升,非常容易产生水流、花蓝印和表层黑斑。可控性水平:没办法操纵。4酸洗钝化HCL除去硅片表层的金属材料残渣硫酸具备酸和络合剂的双向功效,硫酸盐能与多种多样金属材料正离子产生可溶解与水的络合物。6酸洗钝化HF除去硅片表层空气氧化层,SiO26HF=H2[siF6]2H2O。
基准点1.减薄量界定:硅片制绒前后左右的前后左右净重差。操纵范畴多晶硅125,硅片薄厚在200±25μm左右,减薄量在0.5±0.2g;硅片薄厚在200±25μm左右,减薄量在0.4±0.2g。多晶硅156,首篮减薄量在0.7±0.2g;之后减薄量在0.6±0.2g。2.绒面分辨规范:成核相对密度高,尺寸适度,匀称。
操纵范畴:多晶硅:金字塔式规格3~10um。3.外型无豁口,黑斑,裂痕,激光切割线,刮痕,凹痕,有没有白斑病,赃污。
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