流量控制器基本原理
通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。
气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。
温度传感元件用于检测气体温度，数字流量计计算，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。
当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。
此热传递正比于气体质量流量，数字流量计排名，即供给电流与气体质量流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。
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什么是流量控制器？
质量流量计，即Mass Flow Meter（缩写为MFM）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。
质量流量控制器， 即Mass Flow Controller（缩写为MFC）， 不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，数字流量计型号，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。
简单地说，质量流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
流量控制器的原理是什么？
质量流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。
质量流量控制器的剖面结构图见图1。
气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。
将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大，数字流量计， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。
分流器决定主通道的流量。
与质量流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，数字电压表， 设定电位器， 外设、内设转换和三位阀控开关等。
气体质量流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
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