在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线,铜陵净化工程,甚至数条生产线的主要工序均需设置在严于5级的洁净室内,净化工程施工,才能达到产品生产的要求。为此,单向流洁净室的空间布置己从 “单层”布置发展到“多层”布置。“单层”布置的单向流洁净厂房,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线,医院净化工程,通过设在顶棚上的高1效过滤器向洁净生产区均匀送风。
净化工程仅靠闻气味辨别是否有室内污染和是何种污染是不科学、不准确的。有些气体是有气味的,如:“甲醛”具有刺激性气味、“苯系物”具有芳香味、“氨”具有尿骚味等,但也有无色无味的,如:TVOC、氡等。同时,当各种化学物质混合在一起呈现混合状态的时候,是很难辨别的,因此凭气味来判断有没有污染或是什么污染是不准确的。
采用FFU系统,带ULPA(99.9995%,0.12μm),出口风速为0.38m/s,其满布率为25%,这样室内平均气流速度为0.095m/s,在各有关推荐或参考值的下限下。此无尘室工程的工艺加工在微环境内无尘室的人员亦较少,可以认为无尘室内发生较低,这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。据报道,目前IEST对无尘室内气流速度推荐值的下限有所降低,如: ≤ISO5级:气流速度0.2~0.5m/s; ISO6级或5级(非单向流);换气次数>200次/h; ISO7级:换气次数20~200次/h; ISO8级:换气次数2~20次/h。
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