过滤器采用高强度的楔形滤网，通过压差控制、定时控制自动清洗滤芯。
当过滤器内杂质积聚在滤芯表面引起进出口压差增大到设定值，或定时器达到预置时间时，电动控制箱发出信号，驱动反冲洗机构。
当反冲洗吸盘口与滤芯进口正对时，排污阀打开，此时系统泄压排水，吸盘与滤芯内侧出现一个相对压力低于滤芯外侧水压的负压区，迫使部分净循环水从滤芯外侧流入滤芯内侧，吸附在滤芯内内壁上的杂质微粒随水流进穣盘内并从排污阀排出。
在国外项目中和国内新项目中，F8过滤器是非均匀流洁净室尤为常见的预过滤器。
对于芯片厂100级，10级或更高等级别的洁净厂房，预过滤器的常见的效率级别为H10，许多新项目索性选用HEPA。
在国内过去的洁净室空调系统设计中，过滤器常见配置为：粗效中效高有效。
那时高有效过滤器的使用寿命仅为1--3年，尤其差的也就几个月。
可见，预过滤器的效率的高低决定末端过滤器使用的寿命。
滤盘的独特结构还使将污物冲出的反冲洗过程更加简单和容易，自动化过滤器厂家，而不需要复杂的马达和驱动器等机构，简单的水流即可足以将污物冲出滤芯。
这种优异性能减少了过滤器的反冲洗时间；由于污物不仅贮存在滤盘组与外壳之间，更多地可以贮存在滤盘组内部，过滤器可以容纳更多的污物。
初效：FA 一 PF初效过滤器：初效板式过滤器 FA 一 PF初效过滤器：FA 一 PF 初效过滤器在滤材打褶前，先将一层镀锌铁网贴合在滤材的出风面上，这层铁网不但能保护滤材不被吹破，亦能防止滤材因风压力而造成变形，故能确保所有滤材表面皆能被充分利用。
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