（3） 扩散泵：以低压高速蒸汽流作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
医l药行业用真空泵的选择要考虑以下几点
1.可靠、密封良好、结构紧凑、尺寸较小，以利于操作、清洁和维护是医l药行业对真空泵很为基本的要求，同时无同类型泵、材料的使用经验，用于输送药液、中间体、纯水等介质的泵应提供有关的测试数据以判定使用该泵及材料不影响药品质量。如过流部件采用新型的合成塑料，还应提供有关卫l生部门允许在医l药生产中使用的测试报告。由于医l药环境的特殊性，要求为便于全l面清洗，泵与管道之间好采用活性连接，其底座采用带脚支撑，使底座脱开地面
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