洁净区内的室内装修应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。
洁净室墙壁和顶棚的表面应无裂缝、光洁、平整、不起灰、不落灰尘、耐腐蚀、耐冲击、易清洗、避免眩光（如采用瓷釉漆涂层墙面和金属隔热夹芯板），阴阳角均宜做成圆角，天津GMP车间装修费用，以减少灰尘积聚和便于清洗。
洁净室地面尖整体好，天津GMP车间装修公司，平整、无缝隙、耐磨、耐腐蚀、耐撞击、不易积静电、易除尘清洗（如采用环氧自流平整地坪或现浇水磨石地面）。
工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室
工厂装修洁净室入口宜设空气吹淋室。
当不设空气吹淋室时，天津GMP车间装修施工，应设气闸室。
空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室，宜设气闸室。
空气吹淋室的进、出门不得同时开启，应采取连锁控制措施。
单人空气吹淋室，天津GMP车间装修，应按班人数30人设一台。
洁净室人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设单向旁通门。
不同等级的洁净室之间的静压差应大于等于5Pa。
工厂装修洁净室与非洁净室之间的静压差应大于5Pa。
废气工程：由于半导体工艺对操作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。
废气排放也以挥发为主。
表中给出了不同生产工艺排放的废气组成。
这些废气排放主要可以分为四类：酸性气体、碱性气体、有机废气和有毒气体。
空压气体工程：螺杆式空压机组主要主要有以下系统组成：空气流程系统、润滑油流程系统、冷却系统、安全保护系统、控制系统及电气线路。
螺杆式空压机组主要有压缩机、电动机、空气滤清器、进气阀、油气桶、空气冷却器、润滑油冷却器压力开关、单向阀、储气罐、压力表、自动排水器、安全阀等设备部件。
另外在空压机系统中大多配置冷干机和空气干燥器。
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