产品用途
适用于 2寸～6寸硅片去胶清洗
整机构造
骨架：进口10mmPP板，不锈钢骨架，外包3mmPP板防腐；
外壳：进口10mmPP板；
安全门：采用透明上下推拉门；
管路：管路位于下后部，以节省空间，采用英制接口；
灭火系统：烟热感应CO2自动灭火系统位于工作台面上部；
排风：根据流体学原理设计位于机台后上部，并配有导流和风量调节装置；
工作照明：机台上方配照明（与工作区隔离）；
台面板为优质不锈钢材质（带有漏液孔）；
DI/N2 GUN：可伸缩的DI水管和气管各2把，分置于工作区两侧；
人机界面：Touch Screen彩色界面；
支脚：有滑轮装置和固定装置，可调整高度和锁定；
三色提示灯和蜂鸣器
控制系统
PLC可程式控制器（欧姆龙）＋Touch Screen彩色人机界面操作。
制程参数皆采用可设定、修改；
操作模式可分为自动/手动/编辑/维修。
配有独立配电箱，电路区进行功能分块，强电、弱电块，以便于维护；
具Password功能以避免操作人员误改参数：
Password-1.启动及可进入自动模式內容。
Password-2可进入编辑模式修改制程参数。
Password-3可进入手动模式。