臭氧或超氧，是无机分子，化学式 O3。一种淡蓝色的气体，带有明显的刺激性气味。它是氧的同素异形体，比双原子的同素异形体O2稳定差得多，臭氧破坏器功能，在低层大气中分解为O2（氧气）。臭氧是通过紫外线（UV）和地球大气中的放电作用由氧气形成的。大气中约有90%的臭氧存在于离地面15到50公里之间的区域，也就是平流层，臭氧破坏器，在平流层的较低层，即离地面20到30公里处，为臭氧浓度之区域，是为臭氧层。臭氧层吸收了太阳的大部分紫外线（UV）。
随着催化技术的发展以及能源的紧张，逐渐降低运行费用也成为产品的发展趋势，催化分解的方式也逐渐用于尾气处理.经过尾气臭氧分解器处理过的为期仍然会含有一定浓度的残留臭氧，在一些公共场所使用时必须安装浓度检测报警仪，臭氧破坏器尺寸，确认臭氧浓度在安全许可浓度0.1ppm以下。催化剂的处理催化剂并不被认为是一种危险的废物，臭氧破坏器工作原理，除非其包含油或有毒的物质。催化剂的处理应由地方上的废物管理部门执行。
臭氧可以氧化分解细菌内部氧化葡萄糖所必须的葡萄糖氧化酶，并直接与细菌、病毒发生作用，破坏其细胞器和核糖核酸，分解DNA、RNA、蛋白质、脂质类和多糖等大分子聚合物，使细菌的物质代谢生长和繁殖过程遭到破坏。还可以渗透细胞膜组织，侵入细胞膜内作用于外膜脂蛋白和内部的脂多糖，使细胞发生通透性畸变，导致细胞的溶解。纵观无菌技术对微生物的左右原理分为抑菌、杀菌和溶菌三种，臭氧灭菌消毒属于溶菌剂，即可达到“彻底、地消灭物体内部所有微生物”
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