功能選配 SI-901A 含有Excellon格式
SI-901B 含有探針量測功能
SI-901C 含有漲縮分類功能
SI-901D 含有拍照功能
SI-901F 含有雷射量測功能
*上述產品外觀、規格或功能如有異動，請以產品實物為主
型 號 | MAX-6272 | MAX-6090 | MAX-90120 | MAX-120150 |
行程 ( X Y 軸 ) | 620 mm x 720 mm | 600 mm x 900 mm | 900 mm x 1200 mm | 1200 mm x 1500 mm |
調焦 ( Z 軸 ) | 200 mm | |||
載物台尺寸 | 840 mm x 1180 mm | 850 mm x 1430 mm | 1150 mm x 1730 mm | 1450 mm x 2000 mm |
承載重量 | 25 kgs | 25 kgs | ||
最大移動速度：X.Y 軸 | 250 mm/sec | |||
最大移動速度：Z 軸 | 180 mm/sec | |||
長 x 寛 x 高 (mm) | 1480 x 1400 x 1600 | 1736 x 1585 x 1780 | 2200 x 1800 x 1780 | 2500 x 2100 x 1780 |
淨重 | 1200 kgs | 1550 kgs | 2300 kgs | 3400 kgs |
可快速检测各种复杂、精密零件之轮廓、表面尺寸、角度与位置，特别是精密零部件的微观检测与质量控制，并可用于产品开发、二维抄数等领域。
适用如下之产业:
半导体 如光罩、晶圆、系统芯片、互补式金属氧化半导
封装组件 如 TSOP、SOP、QFP、BGA 等
PCB产品 如 IC 板、模块电路板、软性电路板等
TFT液晶屏幕 如背光板、LCM、BUL等
电子产品 如测试座，多层陶瓷基版、电感、电容、电子组件等
橡塑料 如 O 型环、相机组件、连接器等
冲压产品 如导线架、马达铁芯、精密金属板金、钟表零件、弹簧等
精度零件 如精密模具、刀具、机械零件等
光学通讯零组件、陶瓷套圈、光传感器等
、航天航空、高等院校、科研机构等