低温等离子废气处理设备净化作用机理包含两个方面：
一是在产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间高能足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；
二是等离子体中包含大量的高能电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。
低温等离子体技术在环境工程中的应用：
随着工业经济的发展，石油、制药、油漆、印刷和涂料等行业产生的挥发性有机废气也日渐增多。这些废气不仅会在大气中停留较长的时间，还会扩散和漂移到较远的地方，给环境带来严重的污染。这些废气吸入人体，直接对人体的健康产生极大的危害，工业废气的无控制排放使全球性的大气环境日益恶化。低温等离子设备因此选择一种经济、可行性强的处理方法势在必行。低温等离子废气处理设备在此情况下应运而生。
低温等离子废气处理设备的技术特点：
低温等离子废气处理设备技术应用于恶臭气体治理，具有处理效果好，运行费用低廉、无二次污染、运行稳定、操作管理简便、即开即用等优点。
1、介质阻挡放电产生电子能量高，低温等离子体密度大，达到常用等离子技术(电晕放电)的1500倍，几乎可以和所有的恶臭气体分子作用。
2、技术反应速度快，气体通过反应区的速度达到3-15米/秒，即达到很好的处理效果。
3、气体通过部分，全部采用陶瓷、石英、不锈钢等防腐蚀材料，电极与废气不直接接触，根本上解决了低温等离子废气处理技术设备腐蚀问题。
4、等离子废气处理设备主机为成套工业废气处理装置，前面配有专用塔，能有效去除废气中的粉尘和水分，操作简单。
5、自动化程度高，设备启动、停止十分迅速，随用随开，对于部分化工生产的不连续性，可以在生产时开启，不生产的间隙停止运行，大量的节约能源。
6、运行成本较低，比常用的蓄热式燃烧炉RTO节约运行费用5-8倍，每立方米气量运行费用仅为0.3～0.9分钱。
7、应用范围广阔，基本不受气温和污染物成分的影响，对恶臭异味的臭气浓度有良好的分解作用，恶臭异味的去除率达80-98%，处理后的气体臭气浓度达到标准。
8、重要特点：以非甲烷总烃为例，用色谱法检测，非甲烷总烃去除率也许只有45%，但恶臭异味的去除率达90%。这是因为非甲烷总烃经过处理后，部分分子变成小分子，用色谱法检测时，依然表现为非甲烷总烃。恶臭异味的去除率高，表明实际已经分解了90%以上的污染物质，因为分解后的物质也有部分有异味。
9、光氧净化器处理技术处理工业废气技术不是水洗技术，是通过高能量等离子体对污染物的直接击穿和直接轰击，使分子链断裂，并非污染物的转移。
低温等离子废气处理设备在投入工业生产中后，能够有效地利用氯酸盐进行电解和分解有害物质，以超强的吸附功能进行空气净化处理。当等离子与颗粒污染物发生非弹性碰撞并粘附其表面时，荷电在电场浸染下颗粒污染物被集尘极收集。且它在零件设备上还具有下列特征：结构合理、紧凑、体积适中、重量轻、选材寿命长、维护精练、使用耗材成本低。采用深冷法设备，能耗高、投资年夜、下场差。
介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能，这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团，同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可产生大量的新生态氢、臭氧和羟基氧等活性基团，这些活性基团相互碰撞后便引发了一系列复杂的物理、化学反应。从等离子体的活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
低温等离子废气处理设备根据风量来选择：风量是决定选型的重要因素之一，设备处理风量小于实际风量，则会造成部分废气未经处理就排放，达不到排放标准；反之，由于处理风量大于实际风量，造成不必要的处理费用，增加运行成本根据废气成分来选择：不同的废气成分要选用不同的设备型号，常见的废气成分不同设备都能处理，特殊的的成分就需要特殊的设备来处理了，否则很容易处理不达标；根据空间来选择：如果设备处理空间大，则直接选择的型号就行，如果受到空间限制，则应该选择体积小的设备型号来处理。